直線電機平臺用于晶圓、藍寶石等檢測，由Akribis高性能無鐵芯直線電機驅(qū)動；XY軸采用交叉滾柱導(dǎo)軌，中空結(jié)構(gòu)，內(nèi)置光柵系統(tǒng)。分辨率50nm，重復(fù)定位精度可達士0.75um，絕對定位精度2um；有效行程70*70mm，最大速度200mm/s；可定制。